四氯化硅處理成套系統
一、概述
    四氯化硅處理成套系統，四氯化硅尾氣回收系統是應用于多晶硅生產線的尾氣回收裝置，利用本回收系統將廢氣回收成二氧化硅和鹽酸，本系統已獲，經投放，取得了好的效益。
生產多晶硅是一個提純過程，主要原料是三氯氫硅，再用氫氣進行一次性還原，這個過程中約有25的三氯氫硅轉化為多晶硅，其余大量進入尾氣，同時形成副——四氯化硅。四氯化硅是危，遇空氣遇水會產生對體有害的氣體。在這個過程中，如果回收工藝不成熟，三氯氫硅、四氯化硅、等有害物質有可能外溢，存在的安全和污染隱患。而且多晶硅與四氯化硅的生成比例為1：15，即生產一噸多晶硅，就需要處理15噸的四氯化硅，處理量非常大。目前內處理多晶硅在上已經開創出了兩個方式，一是將四氯化硅熱氫化后再生成生產多晶硅的原料，可以回收利用一部分四氯化硅，但不能回收，還是會產生污染。二種方法就是通過化工工藝將四氯化硅轉化成附加值的化工，即無害的二氧化硅，我公司經過幾年的與應用，地將本應用于本中，將尾氣“變廢為寶”。
二、，四氯化硅尾氣回收系統工作原理
（1）、四氯化硅提純：
因四氯化硅中含有一些雜質，為了得到的二氧化硅和鹽酸，將四氯化硅在蒸發器中蒸發，再經精餾塔提純，使其得到純度非常的四氯化硅氣體。
（2）、四氯化硅水解：
純的四氯化硅氣體進入到水解塔內，同時循液通過泵的作用使循液均勻分布到各個霧化器當中，通過霧化器向下噴淋。與進入水解塔內的四氯化硅發生反應，形成硅酸及氣體。
（3）、二氧化硅的形成：
硅酸進入壓濾系統進行壓濾成為濾餅，再進入干燥機干燥后形成純度為99.85的二氧化硅。
（4）、回收鹽酸：
氣體進入降膜回收裝置，氣體與水反應生成鹽酸。同時冷卻水進入本裝置內對進行冷卻，以增加的回收效率。
沒有反應完的氣體再進入下一級吸收塔內，再進行一次鹽酸的回收，zui后氣體達標。

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